Search Results - "СПЕКТРАЛЬНЫЙ КОЭФФИЦИЕНТ ПРОПУСКАНИЯ"

1

Academic Journal

The possibilities of multi-angle spectrophotometry for determining the parameters of films on single-layer structures ; Возможности многоугловой спектрофотометрии для определения параметров пленок на однослойных структурах

Authors: N. S. Kozlova, E. A. Levashov, Ph. V. Kiryukhantsev-Korneev, A. D. Sytchenko, E. V. Zabelina, Н. С. Козлова, Е. А. Левашов, Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, А. Д. Сытченко, Е. В. Забелина

Contributors: The studies were carried out with financial support within State Assignment FSME-2020-0031 (0718-2020-0031) at the Accredited Test Laboratory of Single Crystals and Stock on their Base of National University of Science and Technology MISiS., Исследования проводились при финансовой поддержке госзадания FSME-2020-0031 (0718-2020-0031). Измерения проведены в МУИЛ Полупроводниковых материалов и диэлектриков «Монокристаллы и заготовки на их основе» (ИЛМЗ) НИТУ «МИСиС».

Source: Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering; Том 25, № 2 (2022); 154-163 ; Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники; Том 25, № 2 (2022); 154-163 ; 2413-6387 ; 1609-3577 ; 10.17073/1609-3577-2022-2

Subject Terms: коэффициент преломления, spectral transmission coefficient, spectral reflection coefficient, absorption index, refractive index, спектральный коэффициент пропускания, спектральный коэффициент отражение, показатель поглощения

File Description: application/pdf

Relation: https://met.misis.ru/jour/article/view/479/374; Кондрашин В.И. Определение толщины тонких оптически прозрачных пленок SnO2 конвертным методом. Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2016; 38(2): 93—101. https://izvuz_tn.pnzgu.ru/tn8216; Усанов Д.А., Скрипаль Ал.В., Скрипаль Ан.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С., Бакуи А. Измерение параметров нанометровых пленок оптическими и радиоволновыми методами. Известия высших учебных заведений. Электроника. 2010; 83(3(83)): 44—50. https://elibrary.ru/mngzfd; Киселев Д.А., Жуков Р.Н., Быков А.С., Малинкович М.Д., Пархоменко Ю.Н., Выговская Е.А. Инициирование поляризованного состояния в тонких пленках ниобата лития, синтезированных на изолированные кремниевые подложки. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2012; (2): 25—29. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2012-2-25-29; Журавлева П.Л., Щур П.А., Мельников А.А. Изучение структурных параметров тонких пленок аналитическими методами. Труды ВИАМ. 2019; 78(6): 104—113. https://dx.doi.org/10.18577/2307-6046-2019-0-6-104-113; Шаяпов В.Р. Комплексный подход к определению физических свойств тонких пленок. В сб. материалов: «Третий междисциплинарный молодежный научный форум с международным участием «Новые материалы». Москва, 21–24 ноября 2017 г. М.: ООО «Буки Веди»; 2017: 386. https://elibrary.ru/xnvfyt; Брус В.В., Ковалюк З.Д., Марьянчук П.Д. Оптические свойства тонких пленок TiO2−MnO2, изготовленных по методу электронно-лучевого испарения. Журнал технической физики. 2012; 82(8): 110—113. https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/10683; Бобровников Ю.А., Козарь А.В., Попов К.В., Тихонов А.Н., Тихонравов А.В., Трубецков М.К. Исследование неоднородности тонких пленок спектрофотометрическими методами. Вестник Московского университета. Серия 3. Физика, Астрономия. 1997; (4): 24—27. http://vmu.phys.msu.ru/file/1997/4/97-4-24.pdf; Соколов В.И., Марусин Н.В., Панченко В.Я., Савельев А.Г., Семиногов В.Н., Хайдуков Е.В. Определение показателя преломления, коэффициента экстинкции и толщины тонких пленок методом возбуждения волноводных. Квантовая электроника. 2013; 43(12): 1149—1153. http://www.mathnet.ru/php/archive.phtml?wshow=paper&jrnid=qe&paperid=15272&option_lang=rus; Ванюхин К.Д., Захарченко Р.В., Каргин Н.И., Сейдман Л.А. Технологические особенности формирования прозрачных проводящих контактов из пленки ITO для светодиодов на основе нитрида галлия. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2013; (2): 60—64. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-60-64; Абгарян К.К., Бажанов Д.И., Мутигуллин И.В. Теоретическое исследование электронных и геометрических характеристик тонких пленок AlN. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2015; 18(1): 48—51. https://doi.org/10.17073/1609-3577-2015-1-48-51; Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А., Глазунов Е.В., Шульга А.В. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок. Журнал технической физики. 2005; 75(6): 98—106. https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/8584; Сахбиев Т.Р. Двухчастотные методы определения толщины и диэлектрических параметров тонких пленок. Новое слово в науке: перспективы развития. 2015; 4(6): 171—172. https://elibrary.ru/xxxsbv; Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., Amotchkina T.V., DeBell G., Pervak V., Krasilnikova-Sytchkova A., Grilli M.L., Ristau D. Optical parameters of oxide films typically used in optical coating production. Applied Optics. 2011; 50(9): C75—C85. https://doi.org/10.1364/AO.50.000C75; Tikhonravov A.V., Amotchkina T.V., Trubetskov M.K., Francis R.J., Janicki V., Sancho-Parramon J., Zorc H., Pervak V. Optical characterization and reverse engineering based on multiangle spectroscopy. Applied Optics. 2012; 51(2): 245—254. https://doi.org/10.1364/AO.51.000245; Аюпов Б.М., Зарубин И.А., Лабусов В.А., Суляева В.С., Шаяпов В.Р. Поиск начального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии. Оптический журнал. 2011; 78(6): 3—9. https://elibrary.ru/tpoocz; Шмидт В. Оптическая спектроскопия для химиков и биологов. М.: Техносфера; 2007. 362 с.; Кларк Э.Р., Эберхардт К.Н. Микроскопические методы исследования материалов. М.: Техносфера; 2007. 376 с.; Бёккер Ю. Спектроскопия. М.: Техносфера; 2009. 528 с.; Ландсберг Г.С. Оптика: учеб. пособие. 6-е изд. М.: Физмалит; 2006. 848 с.; Константинова А.Ф., Гречушников Б.Н., Бокуть Б.В., Валяшко Е.Г. Оптические свойства кристаллов. Минск: Навука i тэхнiка;1995. 302 с.; Толмачев Г.Н., Ковтун А.П., Захарченко И.Н., Алиев И.М., Павленко А.В., Резниченко Л.А., Вербенко И.А. Синтез, структура и оптические характеристики тонких пленок ниобата бария-стронция. Физика твердого тела. 2015; 57(10): 2050—2055. http://journals.ioffe.ru/articles/42276; Аюпов Б.М., Румянцев Ю.М., Шаяпов В.Р. Особенности определения толщины диэлектрических пленок, полученных в поисковых экспериментах. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010; (5): 100—105. https://elibrary.ru/msqeaj; Manifacier J.C., Gasiot J., Fillard J.P. А simple method for the determination of the optical constants n, h and the thickness of a weakly absorbing thin film. Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1976; 9(11): 1002—1004. https://doi.org/10.1088/0022-3735/9/11/032; Swanepoel R. Determination of the thickness and optical constants of amorphous silicon. Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1983; 16(12): 1214—1223. https://doi.org/10.1088/0022-3735/16/12/023; Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Sytchenko A.D., Sviridov T.A., Sidorenko D.A., Andreev N.V., Klechkovskay V.V., Polčak J., Levashov E.A. Effects of doping with Zr and Hf on the structure and properties of Mo-Si-B coatings obtained by magnetron sputtering of composite targets. Surface and Coatings Technology. 2022: 128141. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.128141; Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука; 1970. 855 с.; Карамалиев Р.А., Каджар Ч.О. Оптические свойства композитных тонких пленок, содержащих наночастицы серебра. Журнал прикладной спектроскопии. 2012; 79(3): 424—429. https://elibrary.ru/oxoqwf; Шалимова К.В. Физика полупроводников: учебник. М.: Энергия; 1971. 400 с.; Ефимов А.М. Оптические свойства материалов и механизмы их формирования: учеб. пособие. СПб.: СПбГУИТМО; 2008. 103 с.; Борен К., Хафмен Д. Поглощение и рассеяние света малыми частицами / пер. с англ. М.: Мир; 1986. 664 с.; https://met.misis.ru/jour/article/view/479