ФОРМИРОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ СИСТЕМЫ SIO 2/SI ПОД ДЕЙСТВИЕМ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА

Authors: КОНГ ТУ ХУИНЬ, СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ПЕТРОВ АНДРЕЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

Subject Terms: НАНОСЕКУНДНЫЙ ЛАЗЕР,NANOSECOND LASER,НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ,NANOSTRUCTURING,ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ,PERIODIC STRUCTURES,СИСТЕМА SIO 2/SI,SIO 2/SI SYSTEM,ОПТИЧЕСКАЯ МИКРОСКОПИЯ,OPTICAL MICROSCOPY,ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,PROBE MICROSCOPY

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-morfologii-sistemy-sio-2-si-pod-deystviem-izlucheniya-eksimernogo-lazera
http://cyberleninka.ru/article_covers/16469524.png

МЕХАНИЗМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SIO 2/SI ПРИ ОБЛУЧЕНИИ СКАНИРУЮЩИМ ПУЧКОМ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ХУИНЬ КОНГ ТУ, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

Subject Terms: ЛАЗЕРНОЕ ОБЛУЧЕНИЕ,LASER IRRADIATION,ПЛАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ,SILICON MELTING,КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ,CRYSTALLIZATION,СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ,STRUCTURAL DEFECTS,ДИСЛОКАЦИИ,DISLOCATIONS,МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ,СКАНИРОВАНИЕ,MICROSTRUCTURING,SCANNING

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/mehanizm-mikrostrukturirovaniya-sistemy-sio-2-si-pri-obluchenii-skaniruyuschim-puchkom-impulsnogo-volokonnogo-lazera
http://cyberleninka.ru/article_covers/16405934.png

ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОГО МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СИСТЕМЫ SIO 2/SI

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ, ХУИНЬ КОНГ ТУ

Subject Terms: ЛАЗЕРНОЕ ОБЛУЧЕНИЕ,LASER IRRADIATIONS,ДИСЛОКАЦИИ,DISLOCATION,ЛИНИИ СКОЛЬЖЕНИЯ,SLIP LINES,МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ,ВОЛЬТФАРАДНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ,CAPACITANCE-VOLTAGE CHARACTERISTICS,MICRO STRUCTURING

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-protsessa-lazernogo-mikrostrukturirovaniya-na-elektrofizicheskie-parametry-sistemy-sio-2-si
http://cyberleninka.ru/article_covers/16405865.png

ПРИМЕНЕНИЕ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА ДЛЯ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SIO 2/SI

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ВЕЙКО ВАДИМ ПАВЛОВИЧ, ХУИНЬ КОНГ ТУ

Subject Terms: ЛАЗЕРНОЕ ОБЛУЧЕНИЕ,LASER IRRADIATION,ДИСЛОКАЦИИ,DISLOCATIONS,ЛИНИИ СКОЛЬЖЕНИЯ,СЕТКА ЛИНИЙ СКОЛЬЖЕНИЯ,МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ,MECHANICAL STRESSES,ПЛАСТИЧЕСКАЯ ДЕФОРМАЦИЯ,PLASTIC DEFORMATION,РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ,RECRYSTALLIZATION,НАНОКОМПОЗИТ,NANOCOMPOSITE,SLIP-LINES,GRID OF SLIP-LINES

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/primenenie-impulsnogo-volokonnogo-lazera-dlya-mikrostrukturirovaniya-sistemy-sio-2-si
http://cyberleninka.ru/article_covers/16406212.png

ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНОГО МАССИВА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПРОЕКЦИОННОГО ЛАЗЕРНОГО ОБЛУЧЕНИЯ

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ЧУЙКО ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ, ЛЕ ЗУЙ ТУАН, ФАМ КУАНГ ТУНГ

Subject Terms: НАНОКЛАСТЕР,NANOCLUSTER,НАНОКРИСТАЛЛ,NANOCRYSTAL,НАНОЭЛЕКТРОНИКА,NANOELECTRONICS,ЛАЗЕРНЫЙ СПОСОБ КЛАСТЕРИЗАЦИИ,LASER CLUSTERIZATION

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-regulyarnogo-massiva-nanoklasterov-kremniya-metodom-proektsionnogo-lazernogo-oblucheniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16470588.png

СТРУКТУРА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ В СИСТЕМЕ КРЕМНИЙ-ДИОКСИД КРЕМНИЯ

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ФАМ КУАНГ ТУНГ

Subject Terms: НАНОКЛАСТЕР,NANOCLUSTER,НАНОКОМПОЗИТ,NANOCOMPOSITE,НАНОКРИСТАЛЛ,NANOCRYSTAL,СТРУКТУРА НАНОКЛАСТЕРА,STRUCTURE OF NANOCLUSTERS

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/struktura-nanoklasterov-kremniya-v-sisteme-kremniy-dioksid-kremniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16470554.png

НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ЛАЗЕРНЫМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕМ

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ДЫШЛОВЕНКО СВЕТЛАНА СЕРГЕЕВНА, ПОГУМИРСКИЙ МАКСИМ ВИКТОРОВИЧ, ФАМ КУАНГ ТУНГ, СОКОЛОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

Subject Terms: ЛАЗЕРНОЕ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ,LASER MICROSTRUCTURIZATION,ОБЛУЧЕННАЯ ЗОНА,IRRADIATED ZONES,КРЕМНИЕВЫЙ НАНОКЛАСТЕР,SILICON NANOCLUSTER,КОЭФФИЦИЕНТ ПРОПУСКАНИЯ,TRANSMISSION COEFFICIENT

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/nekotorye-svoystva-kremnievyh-struktur-poluchennyh-lazernym-mikrostrukturirovaniem
http://cyberleninka.ru/article_covers/16470845.png

НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ДЕГРАДАЦИИ МОП-СТРУКТУР ПОД ДЕЙСТВИЕМ γ-ИЗЛУЧЕНИЯ

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/nekotorye-osobennosti-degradatsii-mop-struktur-pod-deystviem-izlucheniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16408343.png

СТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ В ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ

Authors: СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/strukturirovanie-poverhnosti-monokristallov-kremniya-v-elektronnoy-tehnike
http://cyberleninka.ru/article_covers/16408342.png

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОБИВНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ МЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦИИ В КМОП ИС

Authors: НОВИКОВ СЕРГЕЙ НИКОЛАЕВИЧ, СЕМЕНОВ АЛЕКСАНДР ЕВГЕНЬЕВИЧ, СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ФРОЛКОВА ЕКАТЕРИНА ГРИГОРЬЕВНА, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-probivnyh-napryazheniy-mezhsloynoy-izolyatsii-v-kmop-is
http://cyberleninka.ru/article_covers/16408957.png

ИССЛЕДОВАНИЕ МОП-СТРУКТУР С ОКИСЛАМИ, ПОЛУЧЕННЫМИ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ОКИСЛЕНИЯ

Authors: СЕМЕНОВ АЛЕКСЕЙ МИХАЙЛОВИЧ, СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-mop-struktur-s-okislami-poluchennymi-pri-razlichnyh-rezhimah-okisleniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16408961.png

ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ МЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦИИ В КМОП ИС

Authors: НОВИКОВ СЕРГЕЙ НИКОЛАЕВИЧ, СЕМЕНОВ АЛЕКСАНДР ЕВГЕНЬЕВИЧ, СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ФРОЛКОВА ЕКАТЕРИНА ГРИГОРЬЕВНА, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-strukturnyh-defektov-mezhsloynoy-izolyatsii-v-kmop-is
http://cyberleninka.ru/article_covers/16408956.png

ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУР ТИПА SI П/К -SIO 2 -SI С ОКИСЛАМИ, ПОЛУЧЕННЫМИ В РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ОКИСЛЕНИЯ

Authors: СЕМЕНОВ АЛЕКСЕЙ МИХАЙЛОВИЧ, СКВОРЦОВ АЛЬБЕРТ МАТВЕЕВИЧ, ХАЛЕЦКИЙ РОМАН АЛЕКСАНДРОВИЧ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktur-tipa-si-p-k-sio-2-si-s-okislami-poluchennymi-v-razlichnyh-rezhimah-okisleniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16408960.png