ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТНО-ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА И МОРФОЛОГИЧЕСКИХ ОСОБЕННОСТЕЙ ПОВЕРХНОСТИ КОНТАКТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ И РЕСУРС РАБОТЫ МЭМС-КОММУТАТОРОВ

Authors: Афиногенов, Иван, Зельцер, Игорь, Трунин, Евгений

Subject Terms: МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (МЭМС), КОММУТАТОР, ЭЛЕМЕНТНО-ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ, МОРФОЛОГИЯ, КОНТАКТНОЕ ПОКРЫТИЕ, ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ, РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (РФЭС), АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ (АСМ), РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ (РЭМ), ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЗАГРЯЗНЕНИЯ, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS), X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY (XPS), ATOMIC-FORCE MICROSCOPY (AFM), SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM)

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-vliyaniya-elementno-himicheskogo-sostava-i-morfologicheskih-osobennostey-poverhnosti-kontaktnyh-pokrytiy-na
http://cyberleninka.ru/article_covers/15705867.png

Исследование влияния элементно-химического состава и морфологических особенностей поверхности контактных покрытий на электрическое сопротивление и ресурс работы МЭМС-коммутаторов

Source: Вестник Рязанского государственного университета им. С.А. Есенина.

Subject Terms: МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (МЭМС), КОММУТАТОР, ЭЛЕМЕНТНО-ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ, МОРФОЛОГИЯ, КОНТАКТНОЕ ПОКРЫТИЕ, ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ, РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (РФЭС), АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ (АСМ), РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ (РЭМ), ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЗАГРЯЗНЕНИЯ, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS), X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY (XPS), ATOMIC-FORCE MICROSCOPY (AFM), SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM)

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/15705867.png
http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-vliyaniya-elementno-himicheskogo-sostava-i-morfologicheskih-osobennostey-poverhnosti-kontaktnyh-pokrytiy-na