Датчики давления на основе нано- и микроэлектромеханических систем с частотным выходным сигналом

Authors: Васильев, В., Вергазов, И., Громков, Н., Москалёв, С.

Subject Terms: ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ, НАНОИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, ЧАСТОТНЫЙ ВЫХОДНОЙ СИГНАЛ, НЕСТАЦИОНАРНАЯ ТЕМПЕРАТУРА

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/datchiki-davleniya-na-osnove-nano-i-mikroelektromehanicheskih-sistem-s-chastotnym-vyhodnym-signalom
http://cyberleninka.ru/article_covers/14561360.png

Датчики давления на основе нано- и микроэлектромеханических систем с частотным выходным сигналом

Source: Открытое образование.

Subject Terms: ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ, НАНОИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, ЧАСТОТНЫЙ ВЫХОДНОЙ СИГНАЛ, НЕСТАЦИОНАРНАЯ ТЕМПЕРАТУРА

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/14561360.png
http://cyberleninka.ru/article/n/datchiki-davleniya-na-osnove-nano-i-mikroelektromehanicheskih-sistem-s-chastotnym-vyhodnym-signalom