ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА КРЕМНИИ МЕТОДАМИ РЭМ И СЗМ

Authors: Горбунов, Дмитрий, Мишкин, Владимир, Нищев, Константин, Новопольцев, Михаил, Ускова, Елена

Subject Terms: МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ,МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ,СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ,СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,СТРУКТУРА "КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ"

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-mnogosloynyh-metallicheskih-pokrytiy-na-kremnii-metodami-rem-i-szm
http://cyberleninka.ru/article_covers/15766583.png

ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ СТРУКТУР «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ», ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Authors: Нищев, Константин, Мартыненко, Валентин, Беглов, Владимир, Гришанин, Алексей, Елисеев, Вячеслав, Малыгин, Михаил, Новопольцев, Михаил, Юдин, Вячеслав

Subject Terms: СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ, СТРУКТУРЫ «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ», МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, АДГЕЗИЯ, ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЦАРАПАНИЕ (СКРЕТЧ-ТЕСТИРОВАНИЕ), STRUCTURE "SILICON ON MOLYBDENUM", MEASURING SCRATCHING (SCRATCH TEST)

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovaniya-svoystv-mnogosloynoy-metallizatsii-struktur-kremniy-na-molibdene-poluchennoy-metodom-magnetronnogo-raspyleniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/15542639.png

Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ

Source: Огарёв-Online.

Subject Terms: МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ,МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ,СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ,СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,СТРУКТУРА 'КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ', 05 social sciences, 0509 other social sciences, 0506 political science

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/15766583.png
http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-mnogosloynyh-metallicheskih-pokrytiy-na-kremnii-metodami-rem-i-szm

Исследования свойств многослойной металлизации структур «Кремний на молибдене», полученной методом магнетронного распыления

Source: Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки.

Subject Terms: СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ, СТРУКТУРЫ «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ», МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, АДГЕЗИЯ, ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЦАРАПАНИЕ (СКРЕТЧ-ТЕСТИРОВАНИЕ), STRUCTURE 'SILICON ON MOLYBDENUM', MEASURING SCRATCHING (SCRATCH TEST)

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/15542639.png
http://cyberleninka.ru/article/n/issledovaniya-svoystv-mnogosloynoy-metallizatsii-struktur-kremniy-na-molibdene-poluchennoy-metodom-magnetronnogo-raspyleniya