ОБ ИССЛЕДОВАНИИ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ МОДУЛЕЙ НА ОСНОВЕ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ОБЪЕМНОЙ МИКРОМЕХАНИКИ

Authors: Дмитриенко, Алексей, Папко, Антонина, Торгашин, Сергей, Кирянина, Ирина

Subject Terms: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МОДУЛИ, МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ, МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ, БЕСПЛАТФОРМЕННЫЕ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ НАВИГАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ, ТЕХНОЛОГИИ ОБЪЕМНОЙ МИКРОМЕХАНИКИ, МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ, СБИС

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/ob-issledovanii-vozmozhnosti-sozdaniya-inertsialnyh-moduley-na-osnove-otechestvennyh-tehnologiy-obemnoy-mikromehaniki
http://cyberleninka.ru/article_covers/15655229.png

Об исследовании возможности создания инерциальных модулей на основе отечественных технологий объемной микромеханики

Source: Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль.

Subject Terms: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МОДУЛИ, МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ, МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ, БЕСПЛАТФОРМЕННЫЕ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ НАВИГАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ, ТЕХНОЛОГИИ ОБЪЕМНОЙ МИКРОМЕХАНИКИ, МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ, СБИС

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/ob-issledovanii-vozmozhnosti-sozdaniya-inertsialnyh-moduley-na-osnove-otechestvennyh-tehnologiy-obemnoy-mikromehaniki
http://cyberleninka.ru/article_covers/15655229.png