Моделирование кремниевого кольцевого микрорезонатора газового сенсора с помощью Comsol

Authors: Дегтярев, С.А., Бутт, М.А., Подлипнов, В.В.

Subject Terms: Кремниевый кольцевой микрорезонатор, Comsol, газовый сенсор

Relation: Dspace\SGAU\20170510\63676

Availability: http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modelirovanie-kremnievogo-kolcevogo-mikrorezonatora-gazovogo-sensora-s-pomoshu-Comsol-63676

Моделирование кремниевого кольцевого микрорезонатора газового сенсора с помощью Comsol

Index Terms: Кремниевый кольцевой микрорезонатор, Comsol, газовый сенсор, Article

URL: http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modelirovanie-kremnievogo-kolcevogo-mikrorezonatora-gazovogo-sensora-s-pomoshu-Comsol-63676