Некоторые особенности пробоподготовки трихлорсилана и четырёххлористого кремния к атомно-эмиссионному определению примесей

Authors: Strunevich, S. K., Vasilyeva, I. E., Proydakova, O. A., Shabanova, E. V., Dzhugashvili, A. A.

Subject Terms: ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ, TRICHLOROSILANE, ТРИХЛОРСИЛАН, CONCENTRATION OF IMPURITIES VIA MATRIX DISTILLATION, КОНЦЕНТРИРОВАНИЕ ПРИМЕСЕЙ ОТГОНКОЙ ОСНОВЫ, SILICON TETRACHLORIDE

File Description: application/pdf

Access URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42525

Некоторые особенности пробоподготовки трихлорсилана и четырёххлористого кремния к атомно-эмиссионному определению примесей ; Some specialties of sample preparation of trichlorosilane and silicon tetrachloride for atomic-emission determination of impurities

Authors: Струневич, С. К., Васильева, И. Е., Пройдакова, О. А., Шабанова, Е. В., Джугашвили, А. А., Strunevich, S. K., Vasilyeva, I. E., Proydakova, O. A., Shabanova, E. V., Dzhugashvili, A. A.

Subject Terms: TRICHLOROSILANE, SILICON TETRACHLORIDE, CONCENTRATION OF IMPURITIES VIA MATRIX DISTILLATION, ТРИХЛОРСИЛАН, ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ, КОНЦЕНТРИРОВАНИЕ ПРИМЕСЕЙ ОТГОНКОЙ ОСНОВЫ

File Description: application/pdf

Relation: Аналитика и контроль. 2012. № 1; http://elar.urfu.ru/handle/10995/42525

Availability: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42525

Некоторые особенности пробоподготовки трихлорсилана и четырёххлористого кремния к атомно-эмиссионному определению примесей

Authors: Струневич, С. К., Васильева, И. Е., Пройдакова, О. А., Шабанова, Е. В., Джугашвили, А. А., Strunevich, S. K., Vasilyeva, I. E., Proydakova, O. A., Shabanova, E. V., Dzhugashvili, A. A.

Index Terms: TRICHLOROSILANE, SILICON TETRACHLORIDE, CONCENTRATION OF IMPURITIES VIA MATRIX DISTILLATION, ТРИХЛОРСИЛАН, ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ, КОНЦЕНТРИРОВАНИЕ ПРИМЕСЕЙ ОТГОНКОЙ ОСНОВЫ, Article, info:eu-repo/semantics/article, info:eu-repo/semantics/publishedVersion

URL: http://hdl.handle.net/10995/42525
Аналитика и контроль. 2012. № 1