Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния

Συγγραφείς: Хоробров В. С., Шишкина Д. А., Гурская А. В., Ерендеев Ю. П., Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет), Институт информатики и кибернетики

Θεματικοί όροι: 29.31, 535.41

Θέμα γεωγραφικό: COMSOL Multiphysics, газофазное осаждение, карбид кремния, моделирование роста пленок, оптические покрытия, фоточувствительные структуры кремния

Περιγραφή αρχείου: Электрон. дан. (1 файл : 5,7 Мб)

Relation: RU\НТБ СГАУ\ВКР20220621142619

Διαθεσιμότητα: http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-rosta-plenok-na-fotochuvstvitelnyh-strukturah-kremniya-98208