Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме

Θεματικοί όροι: метод ядерных реакций, осаждение металлосодержащих покрытий, ионно-ассистируемое осаждение в вакууме, метод резерфордовского обратного рассеяния, покрытия на основе металла, поверхности структур металл/кремний

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573

Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме

Συγγραφείς: Тульев, Валентин Валентинович

Θεματικοί όροι: ионно-ассистируемое осаждение в вакууме, осаждение металлосодержащих покрытий, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод ядерных реакций, покрытия на основе металла, поверхности структур металл/кремний

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573; 539.1.06:539.23.234

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573