ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУРЫ «НИТРИД АЛЮМИНИЯ НА КАРБИДЕ КРЕМНИЯ» ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА

Συγγραφείς: Гурин, Сергей, Печерская, Римма

Θεματικοί όροι: ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ СТРУКТУРА, ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ, ОСТАТОЧНЫЕ ВНУТРЕННИЕ ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/osobennosti-tehnologii-polucheniya-struktury-nitrid-alyuminiya-na-karbide-kremniya-dlya-chuvstvitelnogo-elementa
http://cyberleninka.ru/article_covers/15579327.png

Особенности технологии получения структуры «Нитрид алюминия на карбиде кремния» для чувствительного элемента

Πηγή: Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки.

Θεματικοί όροι: ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ СТРУКТУРА, ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ, ОСТАТОЧНЫЕ ВНУТРЕННИЕ ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ, 7. Clean energy

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/osobennosti-tehnologii-polucheniya-struktury-nitrid-alyuminiya-na-karbide-kremniya-dlya-chuvstvitelnogo-elementa
http://cyberleninka.ru/article_covers/15579327.png