Разработка технологии изготовления скрытого мостового соединения проводников в производстве гибридных интегральных схем

Συγγραφείς: Рогожников, Дмитрий Сергеевич

Συνεισφορές: Шестериков, Евгений Викторович

Θεματικοί όροι: мостовое соединение, контактная фотолитография, гибридные интегральные схемы, диоксид кремния, оксид алюминия, a bridge connection, contact photolithography, hybrid integrated circuits, silicon dioxide, aluminum oxide, 16.04.01, 621.382.049.776.002

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642

ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ И КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Συγγραφείς: Гребнева, Юлия, Данилина, Тамара, Мошкина, Александра, Чистоедова, Инна

Θεματικοί όροι: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, КВАНТОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, КОНТАКТНАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-mikroreliefa-metodami-elektronno-luchevoy-litografii-i-kontaktnoy-fotolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/14529123.png

Формирование микрорельефа методами электронно-лучевой литографии и контактной фотолитографии

Πηγή: Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники.

Θεματικοί όροι: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, КВАНТОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, КОНТАКТНАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-mikroreliefa-metodami-elektronno-luchevoy-litografii-i-kontaktnoy-fotolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/14529123.png